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[C-14-14]300 GHz帯共鳴トンネルダイオードを用いた低コストレーダアレイ

◎△Ryuma Nakamura1, Shota Ito1, Yosuke Nishida2, Toshihisa Maeda2, Koji Terumoto2, Li Yi1 (1. Ibaraki University, 2. ROHM Co., Ltd.)

Keywords:

RTD,Terahertz,Radar,Array

テラヘルツ波(THz波:0.1–10 THz)は,サブミリメートルオーダの空間分解能と,紙やプラスチックなどの非金属材料に対する透過性を併せ持つ電磁波であり,非破壊検査,セキュリティ,材料評価などへの応用が期待されている[1,2].一方,従来のTHzイメージングシステムは,光源,検出器および光学系が大型・高価であり,小型化および低コスト化が課題である.共鳴トンネルダイオード(Resonant Tunneling Diode:RTD)は,室温でTHz帯発振が可能であり,強い非線形性により単一素子で発振器および検波器として動作できる.self-mixing動作を用いることで,反射波を同一RTDへ再注入し,低周波のベースバンド信号として検出できる.これまでに,単一RTDを用いた280 GHz帯レーダにおいて,約20 µWの出力で70 cmまでの反射信号検出し,約5 µmの微小変位測定が実証されている[1].本研究では,RTDセンシングの高速化を目的として, 16チャネルのRTDセンサアレイを用いた小型THzセンシングシステムを構築し,300 GHz帯における反射イメージング実験によりその有効性を検証する.