講演情報
[1C10]構造材料計測用イオンビーム分析装置の開発
*笹 公和1、山崎 明義1、石井 聰1、黒澤 正紀1、冨田 成夫1、左高 正雄1、楢本 洋1、工藤 博1 (1. 筑波大)
キーワード：
イオンビーム分析、構造材料、水素・軽元素分析、マイクロビーム
筑波大学6 MVタンデム加速器において、航空機などで使用される構造材料計測のためのイオンビーム分析装置の開発を進めている。イオンビーム分析法として、RBS、ERDA、PIXE、NRA等を組み合わせて実施できる予定である。開発計画では、2台のイオンビーム分析装置を整備する。そのうち1台は、マイクロビームの形成が可能であり、超伝導トンネル接合(STJ)検出器とBGO検出器を用いて、水素・軽元素のイメージング測定も可能な設計となっている。本報告では、筑波大学における構造材料計測用イオンビーム分析装置の整備計画と開発状況について紹介する。