講演情報

[1D19]アトマイズAl-Si合金粉末の酸エッチングによる多孔質シリコンのスケーラブル合成

*川浦 宏之1、鈴木 涼1、長廻 尚之1、大石 敬一郎1 (1. 豊田中央研究所)

キーワード:

Porous silicon、Acid etching、Atomized Al-Si alloy powder