講演情報

[10401-12-05]四重極型 ICP 質量分析装置によるクールプラズマ法での高純度材料中の微量不純物分析

○河野 利哉1、M.B. シャバニー1 (1. 三菱マテリアル(株)中央研究所)
司会:長井 陽一(DOWAテクノロジー)