[100301-08] 新素材部門

16:35 〜 17:00

[100301-08-08] 昇華法4H-SiC成長における種結晶/黒鉛台座の界面ポアの影響

○田原 大祐¹、窪谷茂幸²、江藤数馬²、三谷武志²,、加藤智久² (1. 住友金属鉱山（株）機能性材料事業本部事業室（青梅）SiC推進グループ、2．産業技術総合研究所)

司会：佐々木 英人（東邦亜鉛（株））