[C-10] 電子デバイス

9:00 〜 9:15

[C-10-01] （依頼講演）酸化パラジウムを堆積した酸化亜鉛薄膜トランジスタの水素応答

〇大塚 魁人¹、宮澤 諒¹、三浦 正範¹、廣瀬 文彦¹ (1. 山形大学大学院 理工学研究科)

キーワード：

水素センサー、酸化亜鉛、薄膜トランジスタ、酸化パラジウム

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