講演情報

[CI-1-02]強誘電体酸化ハフニウムジルコニウムを用いた光位相変調器の展望

〇竹中 充1、高城 和馬1、戴 維1、トープラサートポン カシディット1、高木 信一2 (1. 東京大学、2. 帝京大学)

キーワード:

シリコンフォトニクス、強誘電体、光位相変調器