[LS] サーモフィッシャーサイエンティフィック(株)

12:05 〜 12:45

[LS2] New FIB-SEM Hydra Ar＋イオンFIBを利用したTEM試料作製とFIBに搭載したSIMS技術の紹介

村田　薫 (サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社)