[P] 2.物性

12:30 〜 14:30

[P7] CoPt薄膜の磁気特性に対するO₂プラズマ処理の影響

*杉村 朋幸¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工大、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：

垂直磁気特性、CoPt多層膜

光磁気センサーに用いられることが期待されているCoPt磁性薄膜について、AZO(ZnO+Al)保護層の大気曝露処理の有無、およびO₂プラズマ処理の有無による垂直磁気特性の変化を比較・検討した。