講演情報
[P16]エピタキシャルCr(N,O)薄膜の積層不整量と硬度の関係
*岩崎 悠佑1、中山 忠親1、末松 久幸1、鈴木 常生1 (1. 長岡技科大)
キーワード：
Hard coating、Epitaxial growth、Pulsed Laser Deposition、Stacking faults、Chromium nitride
エピタキシャル成長させたCr(N,O)薄膜を作製し、積層不整量と硬度の関係を調査した。積層不整相であるD51相はX線回折によって評価し、硬度はナノインデンテーション法によって測定した。