講演情報
[S2.5]その場TEM機械試験用荷重負荷MEMSデバイスに供する試料作製法の検討
*曹 旻鑒1、栃木 栄太1,2、佐藤 隆昭3、柴田 直哉1,4、藤田 博之5、幾原 雄一1,4,6 (1. 東大総合、2. PRESTO、3. ペンシルベニア大、4. JFCC、5. 東京都市大、6. 京大ESISM)
キーワード：
その場、TEM、MEMS、その場観察、欠陥
MEMSデバイスを利用したその場機械試験システムを開発し，本MEMSデバイスを用いたその場TEM機械試験に供するための試験片作製方法を検討した．