講演情報

[S5.7]鉄基ナノ・マイクロ突起体の創成II

*田中 俊一郎1 (1. 東北大μSIC)

キーワード:

励起反応場、鉄および鉄合金、円錐状突起体

Arイオン照射では生成しにくいFe基円錐突起体をGaイオン励起反応場で生成することに成功した。低炭素鋼とSUSでは成長様式が異なるがトップダウンとイオン源を向くボトムアップ機構となる。