講演情報
[LS8]ナノインデンテーションの概要と微細構造の硬度の可視化、およびGaフリーFIBのご紹介
*岩田敏一1 (1. 株式会社東陽テクニカ)
キーワード：
ナノインデンテーション、硬度、ヤング率、ナノスケールキャラクタリゼーション、XeプラズマFIB
ナノインデンテーションの概要と微細構造の硬度の可視化、およびGaフリーFIBのご紹介
<a href="https://confit-sfs.atlas.jp/customer/jim2020autumn/web/abstract/LS8.pdf" target="_blank" class="labellinkbase labellink-poster">概要PDFファイル</a>
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