講演情報
[104]CrN-SiCN複合膜の機械的性質と組織に及ぼす大気中熱処理の影響
*櫻井 亨彦1、土屋 大樹2、松田 健二2、塩尻 詢3、川崎 正博4、池野 進5、野瀬 正照5、李 昇原2 (1. 富山大学（院生）、2. 富山大学、3. 京都繊維工芸大学名誉教授、4. Applied Materials, Inc.、5. 富山大学名誉教授)
キーワード：
CrN-SiCN、熱処理、TEM
本研究ではCrN-SiCN複合膜に大気中で熱処理を施し, 熱処理がCrN-SiCN複合膜の機械的性質や構造に及ぼす影響を調査した。