講演情報
[13]透明Vickers圧子を用いた単結晶シリコンのIn-situ Vickers Indentation破壊挙動観察
*仲野 暁登1、三浦 誠司2、池田 賢一2 (1. 北大工（院生）、2. 北大院工)
キーワード：
その場観察、単結晶シリコン、Vickers Indentation、亀裂、破壊挙動、In-situ Vickers Indentation
Vickers試験は試験中の試料表面は観察不可能である。本研究では透明圧子を使用することで、In-situ Vickers Indentationを可能とした。単結晶Siを観察した所、負荷-除荷過程で破壊や亀裂進展の違いが観察された。