講演情報
[14]周期的傾斜組成を有するCo-Cu合金薄膜の電気めっき法による作製と優れたビッカース硬さ
*萩原 宏幸1、兼子 佳久2、内田 真2 (1. 大阪市立大学・工（院生）、2. 大阪市立大学・工)
キーワード：
ビッカース硬さ、傾斜組成、Co-Cu合金、XRD
周期的に電位を連続的に変化させる特殊な電気めっき法により，厚さ方向に高い濃度勾配を導入したCo-Cu合金薄膜を作製した．傾斜組成構造は単なる均質合金薄膜や多層膜に比べ優れたビッカース硬さを示した．
ビッカース硬さ、傾斜組成、Co-Cu合金、XRD