講演情報

[P112]赤外レーザーアニールによる急速結晶したNd-Fe-B 薄膜の磁気特性

*内田徳之助¹、小池邦博¹、加藤宏朗¹、稲葉信幸¹、板倉賢²、齋藤佑³、大久保晋³、太田仁³ (1. 山形大院理工、2. 九大総理工、3. 神戸大分子フォト研)

Nd₂Fe₁₄B薄膜、保磁力、赤外レーザーアニール、結晶化

本研究では半導体赤外レーザー源を
用いた真空アニーリング装置によるNd-Fe-B 膜の結晶化を試み，Nd₂Fe₁₄B 相の結晶化に伴う高保磁力が確認された．