[P] 9.電気・磁気関連材料

[P117] Auを用いたMIC法によるGe薄膜の結晶化機構

*小泉 聖¹、弓野 健太郎¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

半導体、薄膜、結晶、ゲルマニウム

Auを用いたMIC法によるGe薄膜の結晶化機構について調べたところ、相分離により生じたと思われるデンドライト状のGe結晶が確認された。