[P] 6.材料プロセシング

[P143] コールドスプレー法によるパワーモジュールヒートシンク作製と評価

*小柴 佳子¹、福森 稔¹、森迫 勇¹、飯塚 智徳¹、巽 宏平¹ (1. 早大情シス)

キーワード：

Cold Spray、Additive Manufacturing、パワーデバイス、実装

コールドスプレー法によってパワーモジュールの任意の箇所へCu皮膜を形成させることで、ヒートシンク作製を試みた。また、皮膜形成時の基材温度を変化させ、組織観察や硬度評価を行った。