日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

2021年9月14日〜9月17日オンライン開催
公益社団法人 日本金属学会
日本金属学会2021年秋期(第169回)講演大会

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2021年9月14日〜9月17日オンライン開催

[P10]Agナノ構造薄膜の下地層変化における熱処理加工による表面状態と光学的特性への影響

*杉田 優樹1、山根 治起2、小林 政信1(1. 千葉工業大、2. 秋田産業技術センター)

キーワード:

Agナノ構造薄膜、熱処理、表面状態、光学的特性

本研究では、ガラス基板上と Si 基板上に、また下地層 ZnO または SiO2 に Ag 薄膜を作製し、熱処理を施すことでナノ構造化させ表面状態と光学的特性にどのような変化が現れるかを比較・検討した。