講演情報

9:00 〜 10:30

[P10]Agナノ構造薄膜の下地層変化における熱処理加工による表面状態と光学的特性への影響

*杉田優樹¹、山根治起²、小林政信¹ (1. 千葉工業大、2. 秋田産業技術センター)

Agナノ構造薄膜、熱処理、表面状態、光学的特性

本研究では、ガラス基板上と Si 基板上に、また下地層 ZnO または SiO₂に Ag 薄膜を作製し、熱処理を施すことでナノ構造化させ表面状態と光学的特性にどのような変化が現れるかを比較・検討した。