[P] P83~P89

10:40 〜 12:10

[P87] [(Cr, Al)_1-X, Yb_X]N薄膜の成膜と硬度評価

*鈴木 芳明¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大(院生))

キーワード：

硬質薄膜、PLD、(Cr、Al)N

CrNは第3元素の固溶により結晶格子が歪むことで硬度が向上する．本研究ではCrNに固溶することで相反する歪を与えると共に，固溶状態が非平衡相・平衡相と異なるAlNとYbNを固溶させ相構造と硬度への影響を調べる．