講演情報

[18]高圧巨大ひずみ加工によるSiリッチSiGeの準安定相形成

*髙井良 真里奈1、生駒 嘉史2、荒井 康智3、河野 正道2、尾﨑 由紀子2 (1. 九大工(院生)、2. 九大工、3. JAXA)

キーワード:

SiGe、準安定相、bc8構造、HPT加工

TLZ法によるSiリッチのSiGe結晶についてHPT加工を行った.結晶構造解析から,準安定相であるbc8-SiGeが形成されていることがわかった.比抵抗測定より,bc8-SiGeは半金属的であることが示唆された.