講演情報
[262]スパッタ法で作製したアモルファスMoTe2薄膜の結晶化挙動
*齊藤 雄太1、畑山 祥吾1、牧野 孝太郎1、内田 紀行1、双 逸2、森 竣祐2、須藤 祐司2、コロボフ アレクサンダー1,3、フォンス ポール1,4 (1. 産総研、2. 東北大、3. ゲルツェン大、4. 慶應大)
キーワード：
層状物質、アモルファス、遷移金属ダイカルコゲナイド、MoTe2、結晶化
スパッタ法によってアモルファス相のMoTe2薄膜を成長し、その後熱処理を行うことで結晶化させた。様々な分析手法を用いて、アモルファスから結晶化、そして構造変化していく挙動を調査した。