[S6] S6 ナノ・マイクロスペーステイラリングVI

10:30 〜 10:45

[S6.2] 6000系アルミニウム合金におけるナノ・マイクロ突起体の創成

*田中 俊一郎¹、小田 省吾² (1. 東北大μSIC、2. 東北大院（YKKAP）)

キーワード：

イオン励起反応場、アルミニウム合金、ナノマイクロ突起体

Gaイオン励起反応場で6000系アルミニウム合金に創成されるナノマイクロ突起体について報告する。Top Downプロセスが主体となるも円錐体状突起体がBottom Up的に稠密面に多く形成される。