講演情報

[K2.3][基調講演]フェライトめっき膜の異方性制御による高透磁率化

*松下 伸広1、阿部 正紀1 (1. 東京工業大学)

キーワード:

フェライトめっき膜、高透磁率、磁気異方性

スピンスプレー法による軟磁性フェライト膜の作製時に基板付近に磁界印加することによる異方性制御によって200超の高透磁率が得られることを示すとともに、膜を高抵抗化するプロセス条件も明らかにする。