講演情報

15:40 〜 15:55

[115]双極子プラズマ窒化装置を用いたSUS304ステンレス鋼の窒化挙動に及ぼす圧力の影響

*前田健太¹、中山栄浩²、猿渡直洋²、関谷英治³、杉田良雄³ (1. 山梨大(院生)、2. 山梨大、3. ワイエス電子工業)

プラズマ窒化処理、S相、SUS304、双極子プラズマ窒化装置、XRD

双極子プラズマ窒化装置におけるプラズマ発生状態が同装置を用いた窒化処理に及ぼす影響ついて、窒化中における装置炉内の圧力調整を通して実験的に調査した。