講演情報

[S7.10]高分解能EBSD法による単結晶ダイヤモンド基板の結晶性評価

*田中 孝治1、高野 美和子2、立木 実2、大曲 新矢1、梅沢 仁1、山田 英明1 (1. 産総研、2. 物材機構)

キーワード:

結晶性、高分解能EBSD、単結晶、ダイヤモンド基板、CVD、高圧高温合成

高分解能EBSD法により、単結晶ダイヤモンドの結晶性評価が行えるかどうか検討した結果を発表する