[KS] どこまで実現したか，超スマート社会Ⅱ

11:05 〜 11:40

[K1.4] [基調講演]PSD法を用いたマイクロLEDディスプレイ実現に向けた取り組み

*藤岡 洋¹、上野 耕平¹、小林 篤¹ (1. 東大生研)

キーワード：

マイクロLEDディスプレイ、GaN、PSD

本講演ではスパッタリングをベースとする低温結晶成長手法（PSD法）を用いて作製された窒化物薄膜の基礎特性と、この結晶成長技術のマイクロLEDディスプレイ作製への応用について解説する．