[P44]光インデンテーション法を用いた酸化亜鉛結晶の転位挙動における光環境効果の評価
*大栗 洋人1、李 燕2、栃木 栄太3、方 旭飛4、谷垣 健一2、大島 優5、松永 克志5、中村 篤智2(1. 大阪大基礎工(院生)、2. 大阪大、3. 東京大、4. ダルムシュタット工大、5. 名古屋大)
キーワード:
半導体材料、格子欠陥、結晶構造
光インデンテーション法を用いて,単結晶ZnOの転位挙動に及ぼす光環境の効果をナノスケールで評価した.錐面をすべる転位挙動に対して光環境が影響すること,光照射に伴い即座に転位挙動が変化することを見出した.
