講演情報
[217]CrN-SiCN膜の耐酸化性と膜中へのFeの拡散に及ぼすAl添加の影響
*伊藤 太一1、土屋 大樹1、李 昇原1、松田 健二1、青井 芳文2、池野 進3、野瀬 正照3 (1. 富山大学、2. 龍谷大学、3. 富山大学名誉教授)
キーワード：
薄膜、スパッタリング、TEM、耐熱性、拡散
高速度工具鋼基板上に成膜したCrN-SiCN膜が高温化において基板が反応し大幅に劣化することを以前報告した。その後Al添加が耐熱性の向上に有効であることを見出しCrAlN-SiCN膜の耐熱性について調査を行った。