講演情報
[174]MeN-SiCN複合膜 (Me=遷移金属 ) の耐熱性
*伊藤 太一1、土屋 大樹1、李 昇原1、松田 健二1、池野 進2、野瀬 正照2 (1. 富山大学、2. 富山大学名誉教授)
キーワード：
硬質コーティング、透過型電子顕微鏡、スパッタリング、耐熱性
MeN-SiCN膜はMeN微結晶と耐熱性に優れたSiCN相の複合膜であり, 優れた機械的性質と耐酸化性を併せ持つ膜である。本研究では,様々な遷移金属窒化物でMeN-SiCN複合膜を作製し, 種々の膜の耐熱性について調査を行った。