[J] 共同セッション：高温溶融体の物理化学的性質

14:10 〜 14:30

[J20] Ni-Al融液を用いたAlN/サファイアテンプレート基板上へのAlN成長

*宮田 麟太郎¹、安達 正芳¹、大塚 誠¹、福山 博之¹ (1. 東北大　多元研)

キーワード：

結晶成長、窒化アルミニウム、液相成長

本研究では、AlN作製法の確立を目指し、ガス冷却管を導入してフラックス内に温度差をつけることでAlNの連続成長の可能性について検討するとともに、結晶成長前の合金融液への窒素溶解過程の効果についても調査した。