講演情報
[P71]パルスレーザー成膜を用いたCantor 合金薄膜作製
*箕輪 大生1、棚田 大輔1、石川 和宏2、宮嶋 陽司2 (1. 金沢大院、2. 金沢大)
キーワード:
ハイエントロピー合金、Cantor合金、PVD、PLD
代表的なHEAであるCantor合金をモデル材として選択し,PLDを用いたCantor合金薄膜作製を試みた.表面から1 μmほどの内部に厚さが1 μm程度の Co, Cr, Mn, Fe, Ni, Al から構成される領域が観察された.
ハイエントロピー合金、Cantor合金、PVD、PLD