講演情報
[62]固相エピタキシーによるPb(Zr,Ti)O3薄膜成長メカニズムのSTEM-EELS解析
*木口 賢紀1、内田 寛2、白石 貴久1 (1. 熊本大学、2. 上智大学)
キーワード：
STEM-EELS、強誘電体、固相エピタキシー、界面構造、結晶成長
有機金属錯体の熱分解(MOD)を利用した化学溶液堆積(CSD)法によるPbZrxTi1-xO3（x=0.3）(PZT)薄膜の固相エピタキシーにおいて、非晶質前駆体の結晶化に伴う界面構造と結晶成長機構についてSTEM-EELS法で解析した。