講演情報
[249]ガラス基板上におけるMn4N(111)薄膜の成長とその磁気特性
*司 韵1、春本 高志2、史 蹟2 (1. 東工大（院生）、2. 東工大)
キーワード：
Mn4N、AlN、magnetic property、reactive supttering
In this study, we tried to fabricate Mn4N(111) films on glass substate using a (AlN/Al)7/AlN multilayered buffer layer and investigated its magnetic property.