日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス
日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会
2023年3月7日〜3月15日東京大学 駒場Ⅰキャンパス
[P4]圧延、研磨、熱処理によるグラフェン成長用銅基板の作製
*小野 憲吾1、東條 楓2、本多 信一3、岡井 大祐3、藤井 俊二郎3(1. 兵庫県立大学(院生)、2. 兵庫県立大学(学生)、3. 兵庫県立大学(教員))
キーワード：
グラフェン、銅基板、圧延、熱処理、研磨、CVD成長
グラフェンはデバイス部品等多岐の分野への応用が期待されている。そうした応用促進の為、安価でかつ容易な大面積グラフェンの開発に向けた圧延と熱処理、研磨を用いた手法でグラフェン成長用基板作製を目指した。