講演情報
[P41]Zr(Al)SiCN膜の耐酸化性
*上井 泰成1、伊藤 太一1、土屋 大樹1、李 昇原1、松田 健二1、青井 芳史2、池野 進3、野瀬 正照2,3 (1. 富山大学、2. 龍谷大学、3. 富山大学名誉教授)
キーワード：
Thin film、TEM、oxidation、heat treatment
硬質保護膜として，遷移金属窒化物膜が広く使用され，盛んに研究開発されてきた．本研究では，異なるAl濃度比のZr(Al)SiCN膜を作製し，硬さ測定, 組成分析, 微細組織観察を行うことで酸化挙動について調査した．