講演情報

[225]スパッタリング法によるPt-α-Fe2O3コンポジット薄膜の作製

*阿部 世嗣1 (1. 電磁研)

キーワード:

薄膜、鉄酸化物、コンポジット、Pt、無機材料

Pt添加α-Fe2O3薄膜について検討を行った。その結果、大気中熱処理を施すことにより鉄酸化物はα-Fe2O3に単相化し、Ptは相分離してナノコンポジット薄膜を形成することを明らかにした.