講演情報

14:00 〜 15:30

[P176]ポリイミド基板上に作製した高保磁力 SmCo₅系薄膜の構造と磁気特性

*村形幸作¹、三浦勇人¹、工藤至恩¹、土井正晶¹、嶋敏之¹ (1. 東北学院大工)

SmCo₅、Polyimide、Coercivity、Thin film

フレキシブル基板上に高性能硬磁性薄膜を作製することができればMEMS技術のさらなる発展が期待できる。本研究では、ポリイミド基板上にSm(Co-Cu)₅ 薄膜を作製し、その結晶構造及び磁気特性について詳細に調査した。