[P] P183~P185

14:00 〜 15:30

[P185] _{Cr-Te薄膜の結晶多形変化挙動}

*鶴田 卓也¹、双 逸²、安藤 大輔¹、須藤 祐司^1,2 (1. 東北大工、2. 東北大工(AIMR))

キーワード：

薄膜材料、多形相変化材料、相変化メモリ、Cr-Te二元系合金

高速動作・大容量・低消費電力のメモリ実現に向け、相変化メモリに注目した。このメモリのコア材料となる相変化材料として、Cr-Te二元系材料に注目し、相変化挙動の調査、およびメモリ特性の評価を行った。