講演情報
[S1.20]SiO2中での複合粒子合成におけるAg及びNiイオン注入順序効果
*田中 龍太朗1、松尾 駿之介1、岩瀬 彰宏1、松井 利之1、田口 昇2、田中 慎吾2、堀 史説1 (1. 大阪公立大、2. 産総研)
キーワード:
ナノ粒子、イオン注入、非平衡構造、SiO2
SiO2へのAgとNiイオン注入により生成する粒子はイオンの照射順によって異なることがわかっており、その要因を検討するためにXAFSやXPSなどを用いた微細構造やその集合過程などについて考察する
ナノ粒子、イオン注入、非平衡構造、SiO2