講演情報

13:30 〜 13:45

[38]銅・亜鉛添加非晶質リン酸カルシウム膜の作製と評価

*栗田菜々子¹、上田恭介²、成島尚之² (1. 東北大工(院生)、2. 東北大工)

リン酸カルシウム、表面処理

RFマグネトロンスパッタリング法によりCuおよびZn添加非晶質リン酸カルシウム膜をTi基板上に作製し、その成膜条件と添加元素が膜の性状および溶解性に及ぼす影響を調査した。