講演情報
[68]Co-(Mg-F)ナノグラニュラー薄膜のゲージ効果とその理論考察
*内山 智元(D)1、王 誠1、長谷川 唯2、小林 伸聖2、増本 博1、高橋 三郎3、前川 禎通4 (1. 東北大・学際研、2. 電磁研、3. 東北大・AIMR、4. 理研)
キーワード:
ナノグラニュラー薄膜、Co-(Mg-F)薄膜、ひずみゲージ、トンネル効果、スパッタ
本研究では、Coナノ粒子がMgF2母相中に分散したCo-(Mg-F)ナノグラニュラー薄膜のゲージ効果について理論考察と実証実験を行った。薄膜の電気抵抗は引張ひずみを加えると増加し、圧縮ひずみを加えると減少した。
