講演情報

10:30 〜 10:45

[69]ナノグラニュラー薄膜のトンネル伝導に基づくゲージ効果

*小林伸聖¹、長谷川唯¹、早坂淳一¹、内山智元²、増本博²、早稲田嘉夫¹ (1. 電磁研、2. 東北大・学際研)

ナノグラニュラー、ゲージ効果、トンネル伝導、ひずみ感度、Co-Ba-F

室温以上の温度でゲージ効果を発現するナノグラニュラー薄膜の開発を目的とし、Co-BaFナノグラニュラー薄膜を選択し、ゲージ率および膜構造について検討した結果を報告する。