講演情報
[P27]Ga-FIBおよびXe-pFIB加工したアルミニウム合金の3DAP分析
*城後 香里1、小山 純1、中島 悟1、澤口 晃一1、石村 聡1 (1. 東芝ナノアナリシス株式会社)
キーワード：
３次元アトムプローブ、3DAP、APT、３次元構造解析、金属、Al合金、FIB、Xe-pFIB、加工ダメージ、アーティファクト
3DAPは、原子レベルで3次元元素分布を評価できる分析手法である。Ga-FIBとXe-pFIBで針状試料加工したAl合金を3DAP分析することで、FIB加工ダメージ（Ga、Xe侵入深さ）を比較検証した。