講演情報
[P86]ラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着法を用いた1族・2族金属水素化物のエピタキシャル薄膜合成および元素置換
*宗房 幸太1、福士 英里香1、田中 淳也1、原田 尚之2、大口 裕之1 (1. 芝浦工大理工、2. 物材研)
キーワード:
金属水素化物、赤外レーザー蒸着法、機能性材料
1・2族金属水素化物は水素の特異性を反映した物性を示し得る機能性材料である。本研究では新手法ラジカル水素反応性赤外レーザー蒸着法を開発し、高品質薄膜合成および金属置換によるイオン伝導率向上に挑戦した。
金属水素化物、赤外レーザー蒸着法、機能性材料