[P] 第2分野　物性・電気・磁気関連材料　P1~P8

[P7] Ti₂MnAlおよびMn₂TiAl薄膜の構造と磁気・電気伝導特性

○岩倉 朝道¹、中野 啓太¹、手束 展規¹ (1. 東北大)

キーワード：

スピントロニクス、ホイスラー合金、Ti2MnAl、Mn2TiAl、スパッタリング

マグネトロンスパッタリング法を用いて、熱酸化膜付きSi基板および単結晶MgO基板上にTi₂MnAl (TMA)およびMn₂TiAl (MTA)を成膜した。結晶構造や磁気・電気伝導特性を測定し、成膜パラメータが及ぼす影響を実験的に調査した。