[G] 高温プロセス・融体物性／溶融・凝固プロセス

10:00 〜 10:15

[5] Fe-Nb合金フラックスを用いたAlN結晶成長に及ぼす冷却速度の影響

○大塚 誠¹、南里 駿也¹、安達 正芳¹、福山 博之¹ (1. 東北大多元研)

キーワード：

窒化アルミニウム、溶液成長、結晶成長、鉄－ニオブ合金

本研究では，Fe-3 mass%Nb合金フラックスを用いてAlN結晶成長に及ぼす冷却速度の影響について調査した．1873 Kで4 h保持して溶融合金フラックス中にAlNを溶解させた後，1823 Kまで1 - 0.05 K/minの速度で冷却してテンプレート基板上にAlN結晶を成長させた結果，冷却速度の減少に伴いAlN結晶の成長厚さが大幅に増大することを明らかにした．