01: 金属材料-1

16:00 〜 16:15

[G1106] トリプル四重極ICP-MSを用いた超純水中のSiのBEC低減に関する考察

○溝渕 勝男¹、大森 美音子¹、島村 佳典¹、尾形 洋昭¹ (1. アジレント・テクノロジー（株）)

キーワード：

ICP-MS、Si、BEC、DIW、Spectral Interferance