講演情報
[4B5-IND-5-05]半導体製造におけるプロセスインフォマティクス活用と複数工程最適化への取り組み
髙石 将輝 (アイクリスタル株式会社)
アイクリスタル株式会社は名古屋大学発のスタートアップ企業です。私たちは、物理シミュレーション・機械学習・AIを統合したプロセスインフォマティクスの技術を通じて、プロセス設計や最適化を支援しています。とりわけ半導体業界では、先端デバイスの複雑化により、単一工程の改善だけではなく、複数工程を跨ぐ現象を理解し制御することが課題です。本セミナーでは、こうした課題に向け、複数工程を連携して最適化する技術アプローチと、それを実現するプラットフォーム構築への取り組みについて、具体例を交えて紹介します。